ルテニウムスパッタリングターゲット

製品

ルテニウム (Ru) スパッタリングターゲット

属性名

高純度金属スパッタリングターゲット
商品名

ルテニウムスパッタリングターゲット
元素記号

る
純度

3N5
形

平面ターゲット

引用を要求

あるいはカル +86-731-84027969

説明

レビュー

ルテニウムスパッタリングターゲットは、高純度のルテニウムからなる灰色のターゲットです。ルテニウムは、記号 Ru および原子番号 44 の化学元素です。周期表の白金族に属する希少な遷移金属です。白金族の他の金属と同様に、ルテニウムは他のほとんどの化学物質に対して不活性です。ルテニウムは通常、プラチナ鉱石の微量成分として見つかります。ほとんどのルテニウム製品は、耐摩耗性の電気接点や厚膜抵抗器に使用されます。

ルテニウムスパッタリングターゲットは、垂直磁気記録多層膜の構造における重要な中間膜であるRu薄膜の成膜に使用されます。磁気記録媒体では、主に上層と下層の間の格子不整合応力を軽減し、熱安定性を高め、ノイズを低減する役割を果たします。

ルテニウムおよびルテニウム合金薄膜は、機能膜として磁気記録ストレージおよび半導体産業で広く使用されています。

化学仕様

以下の形式は、99.95% 純度のルテニウム Ru スパッタリングターゲットの一般的な証明書です。

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